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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

我国工业经济总体回稳向好******

　　光明日报北京1月11日电 记者刘坤从11日在京举行的全国工业和信息化工作会议获悉，2022年，我国工业经济总体回稳向好，预计全年规模以上工业增加值同比增长3.6%，其中制造业增加值增长3.1%左右。重点领域创新取得新突破，我国产业链供应链韧性和安全水平持续提升。

　　2022年，C919大型客机实现全球首架交付，国产10万吨级大型渔业养殖工船成功交付，腹腔镜手术机器人等高端医疗装备填补国内空白，国产四人雪车等冰雪装备实现“零”的突破，中国空间站全面建成，第三艘航母“福建舰”下水。重点产业链强链补链有序开展，实施一批产业基础再造工程项目。中小企业高质量发展取得新进展，累计培育专精特新中小企业7万多家、“小巨人”企业8997家、制造业单项冠军企业1186家。制造业高端化智能化绿色化发展步伐加快，传统产业加快改造提升。信息通信业快速发展，累计建成开通5G基站超过230万个，新型数据中心建设成效明显，中小微企业宽带和专线平均资费降低超过10%。

　　会议强调，2023年，要全力促进工业经济平稳增长；扎实推进“十四五”规划落地见效；提升重点产业链自主可控能力，“一链一策”推进强链补链稳链；深入推进产业基础再造；加快推进重大技术装备攻关；加快改造提升传统制造业；培育壮大新兴产业；加快信息通信业发展，加快5G和千兆光网建设，启动“宽带边疆”建设，全面推进6G技术研发；促进中小企业发展；优化国防科技工业体系和布局，建设先进国防科技工业，巩固一体化的国家战略体系和能力；支持部属高校“双一流”建设；提升行业治理能力；全力以赴做好重点医疗物资生产保供。

　　《光明日报》（ 2023年01月12日 10版）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）